GB_T 27760-2011 利用Si(111)晶面原子臺(tái)階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進(jìn)行校準(zhǔn)的方法

GB-T 27760 2011硅（111）晶體表面原子臺(tái)階校準(zhǔn)原子力顯微鏡高度測量方法亞納米

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用si（111）晶體表面原子臺(tái)階高度樣品校準(zhǔn)原子力顯微鏡z標(biāo)度的方法。AFM適合于在大氣或真空環(huán)境中工作，其Z向放大倍數(shù)達(dá)到最大水平，即Z方向位移在納米和[亞納米 ]的范圍內(nèi)，這是AFM檢測半導(dǎo)體表面時(shí)經(jīng)常使用的檢測范圍；光學(xué)器件表面及其他高科技元件表面。本標(biāo)準(zhǔn)并未說明所有可能的安全問題。在本標(biāo)準(zhǔn)之前的應(yīng)用中，用戶有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩l(wèi)生措施，并確保滿足國家有關(guān)規(guī)定的條件。注：本標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)中標(biāo)準(zhǔn)值為國際單位制規(guī)定值，括號(hào)內(nèi)數(shù)值僅供參考。afm測試

發(fā)布時(shí)間：2011-12-30   實(shí)施時(shí)間：2012-05-01

發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

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  武漢鑠思百檢測，是華中地區(qū)專業(yè)的第三方檢測平臺(tái)，提供材料檢測服務(wù)，常規(guī)測試3-5個(gè)工作日出檢測結(jié)果，鑠思百檢測專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器，專業(yè)科研團(tuán)隊(duì)碩博測試工程師90%，鑠思百檢測，堅(jiān)持“恪守信譽(yù)、質(zhì)量第一、客戶第一”

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