哪里可以測試3D輪廓儀

儀器名稱：

3D輪廓儀

儀器型號：

美國KLA-Tencor D-120

檢測項目：

1、薄膜、涂層厚度測量；

2、臺階高度測量；

3、表面粗糙度測量；

4、2維薄膜應(yīng)力測量；

5、平坦度、波紋度、曲率測量；

6、表面輪廓（缺陷、形貌等）測量。

應(yīng)用范圍：

可用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能、薄膜、材料等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)納米級別表面二維形貌測量。垂直分辨率最大1A；垂直范圍0-1mm；單次掃描長度范圍小于55mm。

制樣要求：

長寬小于30mm，厚度小于20mm，

3D輪廓儀一款測量工具，該工具可以通過電腦軟件對一件物體進行測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級，那三維光學(xué)輪廓儀具有哪些原理呢，下面就讓我們來了解一下吧。

3D輪廓儀

一、原理：

3D輪廓儀基于白光干涉掃描技術(shù)，用于樣品表面顯微鏡檢查。精密儀器測量的顯著特點是它可以達到納米級的檢測精度，并能快速獲取待測工件表面的三維形狀和數(shù)據(jù)。其主要目的是用于成品的質(zhì)量管理，以確保良好的產(chǎn)量?？蓮V泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求如：半導(dǎo)體，微機電，納米材料，生物醫(yī)學(xué)，精密涂料，科研院所，航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f，只要測量微小范圍內(nèi)關(guān)鍵部件的納米粗糙度，輪廓等參數(shù)，除了3D輪廓儀外，沒有其他儀器和設(shè)備可以滿足精度要求。

二、3D輪廓儀的特點是：

1、業(yè)界最高的垂直分辨率，最強大的測量性能；

2、放大0.5至200倍；

3、在任何放大倍數(shù)下的子級到毫米垂直測量范圍；

4、3D輪廓儀測量硬件的獨特設(shè)計，以提高生產(chǎn)環(huán)境的可靠性和可重復(fù)性；更高的振動獲得專利的自動校準公差和GR測量功能；

5、 Vision64軟件在多核處理器下運行，大大提高了三維表面測量和分析速度，加快了數(shù)據(jù)處理速度增加了幾倍;將分析速度提高十倍；

6、無與倫比的無縫數(shù)據(jù)拼接功能；

7、3D光學(xué)分析儀具有高度直觀的用戶界面，業(yè)界最強的實用性，易操作性和強大的分析能力極大優(yōu)化的用戶界面大大簡化了測量和數(shù)據(jù)分析過程;獨特的視覺操作工具，一個可以自己設(shè)置數(shù)據(jù)輸出的接口。

備注：

PS：送樣請附帶“委托測試單”。

測試提示：

1.可開正規(guī)測試發(fā)票，附帶測試清單。

2.有腐蝕性，毒性，或其他有危害性等特殊樣品要事先告知測試人員，測試人員也要告知樣品方哪些樣品不能測或會對儀器產(chǎn)生損傷，測試后會對樣品產(chǎn)生哪些變化；

3.客戶需提供詳細的樣品資料，包括元素，主要成分和詳細測試參數(shù)及條件。和測試人員充分討論，商定最終測試條件；

4.測試人員與顧客通過QQ或郵件溝通，出現(xiàn)測試糾紛，郵件或聊天記錄將作為重要的仲裁依據(jù)；請加QQ和技術(shù)人員交流：82187958。

5.杜絕測試、解析和合成違反國家相關(guān)法律法規(guī)的樣品，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)將追究其法律責(zé)任。

以上是關(guān)于3D輪廓儀的相關(guān)介紹，更多測試需求請聯(lián)系鑠思百檢測工程師。