無機(jī)非金屬材料的檢測方法-EPMA（電子探針顯微分析儀）

無機(jī)非金屬材料有哪些檢測方法？今天鑠思百小編給大家介紹EPMA（電子探針顯微分析儀）?檢測方法。

EPMA（電子探針顯微分析儀）——微區(qū)成分分析

電子探針顯微分析儀（EPMA）是掃描成像和成分分析一體化的強(qiáng)大的微區(qū)分析工具。

EPMA屬于無損分析，應(yīng)用廣泛。對任何一種在真空中穩(wěn)定的固體，均可以用電子探針進(jìn)行成分分析和形貌觀察，例如金屬、硅酸鹽材料、醫(yī)學(xué)試樣、纖維、氧化膜、涂層、廢氣顆粒、文物等。尤其在材料科學(xué)、地學(xué)、礦物學(xué)及冶金學(xué)等應(yīng)用最為廣泛。

EPMA的特點(diǎn)及應(yīng)用：

精確定量分析(含超輕元素和微量元素)：電子探針是目前微區(qū)元素定量分析最準(zhǔn)確的儀器。電子探針的檢測極限（能檢測到的元素最低濃度）一般為100-500ppm，不同測量條件和不同物質(zhì)/元素有不同的檢測極限。在作了基體修正以后，大多數(shù)情況下測試結(jié)果優(yōu)于2%。

以硅酸鹽玻璃的定量分析為例，定量分析結(jié)果如下，所有的分析結(jié)果均在國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的誤差范圍內(nèi)。

定性分析：主要確定所分析的樣品組成，以硅酸鹽玻璃為例，典型的定性分析結(jié)果如下，包括譜圖和歸一化的半定量結(jié)果。

線分析：電子束沿一條分析線進(jìn)行掃描時(shí)，能獲得元素及其含量變化的線分布曲線。如果和樣品形貌像對照分析，能直觀地獲得不同元素在不同相或者區(qū)域內(nèi)的分布及變化趨勢。Cu/Cr/Ni/Cu多層結(jié)構(gòu)的線掃描結(jié)果如下。

EPMA是微區(qū)形貌和成分一體化分析最有效的工具之一，廣泛應(yīng)用于金屬及合金、半導(dǎo)體、地質(zhì)、化工、能源、環(huán)境、陶瓷、玻璃、稀土氧化物、高分子、生物、醫(yī)學(xué)、考古、刑偵等各領(lǐng)域。

超高分辨率和超高靈敏度面分析（BES電子像和元素分布圖）：EPMA能夠得到納米顆粒、低含量元素和輕元素的面分布圖。對材料晶界、析出相、沉淀物和夾雜相等成分分析有突出優(yōu)勢，靈敏度和分辨率明顯優(yōu)于能譜儀。

BSE電子像樣品中的W元素分布圖

BSE電子像樣品中的Sb元素分布圖

EDS和EPMA上WDS的比較：WDS和EDS對鈦鋁合金中的C元素面分布的測試對比，相同的區(qū)域、相同的加速電壓和相同的測試時(shí)間：

EPMA上WDS測試結(jié)果

EDS測試結(jié)果

測試流程

1、客戶提出測試要求（在線預(yù)約）

2、細(xì)節(jié)溝通（聯(lián)系在線QQ）

3、下載填寫測試委托單

4、測試委托單和樣品郵寄

5、聯(lián)系客服付款

6、安心等待

7、接受數(shù)據(jù)

8、后期服務(wù)

以上是對于測試的相關(guān)介紹，如有其它檢測需求可以咨詢實(shí)驗(yàn)室工程師，為您一對一服務(wù)。

溫馨提示

1、不定期推出各種優(yōu)惠活動(dòng)，詳情咨詢客服。

2、測試前聯(lián)系在線客服確認(rèn)測試條件、檢測費(fèi)用、檢測周期等。

檢測咨詢熱線：15071040697      黃工QQ：82187958

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