樣品制備制樣方法對(duì)比：FIB制樣，手工磨樣，氬離子拋光

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發(fā)表時(shí)間：2019-11-14 15:25作者：武漢鑠思百檢測(cè)技術(shù)有限公司來(lái)源：鑠思百檢測(cè)

樣品制備制樣方法對(duì)比：FIB制樣，手工磨樣，氬離子拋光

三種制樣方式如下：

1.手工機(jī)械研磨樣雖價(jià)格便宜可觀察區(qū)域面積大，但由于其受到硬度、延展性等材料性能的影響，做出來(lái)的截面常常有變形、磨痕、脫落、褶皺、熱損傷等特性，產(chǎn)生假象，嚴(yán)重影響分析準(zhǔn)確度，對(duì)厚度測(cè)量，截面觀察帶來(lái)困難。

2.氬離子拋光制樣可以用于各種材料樣品（除了液態(tài)）的制備，適應(yīng)大多數(shù)材料類型，對(duì)大面積、表面或輻照及能量敏感樣品尤佳：鋼鐵、地質(zhì)、油頁(yè)巖、鋰離子電池、光伏材料、薄膜、半導(dǎo)體、EBSD、生物材料等包括平面拋光與截面拋光。

氬離子拋光在材料制樣的特出優(yōu)點(diǎn)：

（1）對(duì)由硬材料和軟材料組成的復(fù)合材料樣品, 能夠很精細(xì)地制作軟硬接合部的截面, 而使用傳統(tǒng)方法制樣是很困難的。

（2）比FIB方法的拋光面積更大（~1mm以上）。

3.聚焦離子束技術(shù)（FIB制樣）對(duì)比與傳統(tǒng)的電解雙噴，離子減薄方式制備TEM樣品，F(xiàn)IB可實(shí)現(xiàn)快速定點(diǎn)制樣，獲得高質(zhì)量TEM樣品。FIB利用高強(qiáng)度聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工，配合掃描電鏡(SEM）等高倍救電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半號(hào)體集成電路修改、離子注入、切割和故障分析等。

FIB制樣服務(wù)預(yù)約?

FIB制樣步驟：

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