sem粒徑分布統(tǒng)計(jì)測量方法

SEM、TEM電鏡粒徑測量、分布統(tǒng)計(jì)

今天鑠思百檢測小編帶給大家的是如何分析統(tǒng)計(jì)SEM/TEM晶粒，所用的軟件是Nano Measurer和Origin ，并附軟件安裝及使用教程。

軟件介紹：Nano Measurer

適用系統(tǒng)：WinXP/Win7/Win10

開發(fā)者：復(fù)旦大學(xué)化學(xué)系 表面化學(xué)與催化實(shí)驗(yàn)室 許杰（現(xiàn)任職于常州大學(xué)）

Nano measurer在操作方面，比Image J、DigitalMicrograph（DM）要簡單很多。相比很多同學(xué)手動測量粒徑（使用DM，一個(gè)一個(gè)測量，一個(gè)一個(gè)記錄畫“正”字），這個(gè)程序有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：

（1）自動記保存每個(gè)粒徑，即時(shí)查看；

（2）對于每個(gè)測量過的粒子，都加以標(biāo)示，防止重復(fù)測量，且可刪除誤測量的粒子；

（3）電鏡圖片的放大和縮小[0.25-3.0倍率]；

（4）自動繪制統(tǒng)計(jì)分布圖，粒徑的總結(jié)果和最終統(tǒng)計(jì)結(jié)果由*.txt文件輸出；

（5）漢/英程序界面；

（6）程序簡單，免費(fèi)。

Nano Measurer安裝步驟

1 . 解壓安裝包，運(yùn)行Nano Measurer。

關(guān)于安裝中msvbvm60.dll的錯(cuò)誤：

少數(shù)同學(xué)反饋安裝<粒徑分布計(jì)算>時(shí)，系統(tǒng)會彈出關(guān)于msvbvm60.dll文件錯(cuò)誤對話框。請選擇"忽略(Ignore)"，繼續(xù)安裝。然后將msvbvm60.dll文件復(fù)制到計(jì)算機(jī)的C:\windows\system32目錄下.\

2. 選擇安裝語言。

3. 一直點(diǎn)擊下一步安裝。

4. 直到整個(gè)軟件安裝完成。

Nano Measurer使用教程

運(yùn)行Nano Measurer 1.2軟件，打開需要統(tǒng)計(jì)的SEM圖片（Jpg格式），首先設(shè)置標(biāo)尺，如圖：

注意：軟件只支持*.bmp和*.jpg格式圖片，對于TEM文件（一般是*.dm3），請用<DigitalMicrograph>軟件打開，然后在電鏡圖片上鼠標(biāo)右鍵，復(fù)制圖片，再使用Windows自帶的<畫圖>軟件新建一個(gè)空白的畫板，粘貼圖片，最后作適當(dāng)裁剪（除去空白的邊幅）。

在對顆粒進(jìn)行標(biāo)記統(tǒng)計(jì)，至少需要10個(gè)數(shù)據(jù)及以上，詳細(xì)步驟：

1. 打開電鏡文件，在電鏡圖片上按住鼠標(biāo)左鍵不放，拖動鼠標(biāo)，由此確定標(biāo)尺；單擊菜單"設(shè)置"->"標(biāo)尺"，在窗口中輸入標(biāo)尺真實(shí)長度和單位；

2. 拖動鼠標(biāo)在電鏡上標(biāo)示顆粒，每標(biāo)示一個(gè)顆粒，程序會記錄其序號和粒徑，結(jié)果會在"即時(shí)報(bào)告"窗口中顯示；

3. 對于效果不理想的顆粒，可將鼠標(biāo)放在電鏡圖片的顆粒序號上，單擊鼠標(biāo)右鍵刪除，或在"即時(shí)記錄"窗口中選擇某個(gè)顆粒序號，單擊鼠標(biāo)右鍵刪除；

4. 測量粒徑中，可以點(diǎn)擊菜單"設(shè)置"->"標(biāo)記"，選擇顆粒序號在標(biāo)記線的合適位置和顏色；

5. 當(dāng)被測量的顆?？倲?shù)達(dá)到10個(gè)，可以單擊菜單"報(bào)告"->"查看報(bào)告"；

6. 測量顆粒中，可隨時(shí)在電鏡圖片的空白區(qū)域內(nèi)，單擊鼠標(biāo)右鍵，選擇菜單放大縮小電鏡圖片（最大放大3倍，最小縮小0.25倍）；

7. 本程序缺省設(shè)定樣本組數(shù)為10，在組分布時(shí)，樣本的組范圍確定采用上偏，即2.5落在2.5-3.0內(nèi)而非2.0-2.5內(nèi)。

然后點(diǎn)擊報(bào)告，將數(shù)據(jù)生成txt文件，保存在桌面以方便查找。

Origin對粒徑分布作圖

按下列步驟可以實(shí)現(xiàn)Origin對粒徑分布的快速作圖:

（1）將導(dǎo)出文件的“統(tǒng)計(jì)報(bào)告”部分直接拷貝到Origin表格中（4列）；

（2）設(shè)表格第2列為X軸，第4列為Y軸，然后作圖。

如需要自定義組數(shù)和樣本組距可如下操作:

（1）復(fù)制導(dǎo)出文件的"基本報(bào)告"部分至Origin表格中；

（2）選擇第2列右鍵鼠標(biāo)運(yùn)行"Frequency Count"命令。

詳細(xì)步驟如下：

1. 打開Origin作圖軟件，將txt數(shù)據(jù)復(fù)制到Origin中，注意，只要數(shù)值。

2. 選中Y軸，點(diǎn)擊菜單欄Statistics/Descriptive Statistics/Frequency Counts/Open Dialog。

3. 點(diǎn)擊OK。

4. 選中Count（Y），使數(shù)據(jù)生成柱狀圖（Column）。

5. 對柱狀圖進(jìn)行正態(tài)分布擬合：

點(diǎn)擊菜單欄Analysis/Fitting/Nonlinear Curve Fit/Open Dialog。

6. 點(diǎn)擊Function 的對話框的下三角標(biāo)，選中Gauss。

7. 再點(diǎn)擊Fit進(jìn)行擬合，得到如圖。

8. 再對原始數(shù)據(jù)進(jìn)行求取平均值和標(biāo)準(zhǔn)差。

9. 選中Y軸，點(diǎn)擊菜單欄Statistics/Descriptive Statistics/Statistics on Columns/Open Dialog。

10. 點(diǎn)擊OK，得到平均值和標(biāo)準(zhǔn)差。

11. 對圖像進(jìn)行處理，即可得到我們想要的圖像。

來源丨科研絕技