做sem測(cè)試件需要做什么前期處理

SEM就是觀察表面形貌的一種方法，對(duì)于塊狀材料，如果觀察斷口形貌，則要把樣品打斷，將斷口在丙酮中超聲處理，去除碎渣，再噴碳或金。對(duì)于拋光樣品，需要將拋光面腐蝕。腐蝕劑根據(jù)不同材料選擇。

掃描電鏡是精密儀器 ，在做SEM測(cè)試時(shí)，樣品的制備很關(guān)鍵，如果如果樣品存在問題或制樣不當(dāng)，不僅無法得到理想的效果，還會(huì)對(duì)電鏡造成損傷，甚至造成設(shè)備故障。

我們來看看掃描電鏡樣品制備的要求：

1. 樣品為干燥無水固體，無易揮發(fā)溶劑

2. 觀察面應(yīng)該清潔，無污染物

3. 樣品應(yīng)導(dǎo)電

4. 樣品熱穩(wěn)性要好，且不會(huì)被電子束分解

掃描電鏡(SEM)的樣品制備

1、塊狀樣品

掃描電鏡的試樣制備是比較簡(jiǎn)便的。

對(duì)于塊狀導(dǎo)電材料，除了大小要適合儀器樣品座尺寸外，基本上不需要進(jìn)行什么制備，用導(dǎo)電膠把樣品粘結(jié)在樣品座上，即可放在掃描電鏡中觀察。

對(duì)于塊狀的非導(dǎo)電或?qū)щ娦暂^差的材料，可先進(jìn)行鍍膜處理在材料表面形成一層導(dǎo)電膜。以避免電荷積累，影向圖象質(zhì)量。

若需拍塊體/薄膜截面，需明確截面制備方法，一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆斷兩種方式；

2、粉末樣品

①將粉樣撒在樣品臺(tái)的雙面膠上,用耳球從不同方向吹拂粉料。經(jīng)此過程粉料已牢固、均勻地粘在雙面膠上。

②乙醇分散制樣：取少量樣品于離心管中，加入 一定量無水乙醇（或水），室溫超聲 5-10min，隨后采用 3 中液體的制樣方式制樣測(cè)試。

3、液體樣品

用移液槍取樣品超聲后的懸濁液，滴一滴于硅片或錫紙上，自然風(fēng)干/紅外燈烘干，烘干后將硅片或錫紙用導(dǎo)電膠粘在樣品臺(tái)上測(cè)試；