sem面掃描是什么意思？
面掃是整個(gè)試件的表面，包含線掃，能譜可以看出元素分布含量
SEM面掃
面掃描是使電子束在試樣表面觀察區(qū)掃描，所定義的感興趣元素在顯示器上以不同顏色的點(diǎn)分別顯示出分布圖像，并且與采集的二次電子圖象相對(duì)應(yīng)，直觀明了，點(diǎn)越多、亮度越亮，說(shuō)明元素含量越高。面分析的靈敏度比點(diǎn)、線分析都低，面掃描需要較長(zhǎng)時(shí)間收集信號(hào),才能得到比較好的效果，它也是一種定性分析。觀察試樣表面元素分布時(shí)，元素含量高的區(qū)域，顯示的亮點(diǎn)多、亮度高，但背底噪音也會(huì)產(chǎn)生少量亮點(diǎn)，無(wú)法和低含量元素區(qū)分。因?yàn)槊鎾呙桁`敏度低，分析時(shí)往往采用大的探針電流，特別對(duì)輕元素，如果探針電流小，特征X射線信號(hào)很弱，無(wú)法顯示元素分布。做面掃描的試樣要求表面光滑。它常用于材料中異物雜質(zhì)、相分布和元素偏析快速檢驗(yàn)。
SEM線掃
使電子束沿樣品上指定的一條線掃描，就能得到這條線上感興趣元素含量的變化曲線。線分析是一種定性分析，有二次電子或背散射電子像對(duì)照分析，能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布狀態(tài)。它常用于材料表面改性（涂層、包覆層、滲C、滲N）、催化劑研究等。做線分析的試樣表面，要求拋光，如果試樣不平、缺陷、坑洞太多，就會(huì)對(duì)X-射線造成吸收，使線分布曲線產(chǎn)生大的變化，造成線分布假象，難于分清是元素含量變化或是幾何因素引起。定義感興趣元素的含量要求是“主要”或是“次要”的，如果是“微量”的，所得的線分布曲線變化就不明顯，線掃描的可靠性差，這時(shí)就要采用點(diǎn)分析（如前面的定點(diǎn)分析示例3）。另外還要注意：分布曲線高度代表元素含量，同種元素在相同條件下可以定性比較含量變化。因?yàn)椴煌禺a(chǎn)生的X射線產(chǎn)額不同，所以不同元素的峰高不能進(jìn)行元素含量的比較。即使元素含量沒(méi)有變化，沿掃描線的元素分布通常也不是一條直線，這是由于X射線計(jì)數(shù)統(tǒng)計(jì)漲落和幾何因素引起。
