SEM檢測重點(diǎn)是什么

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發(fā)表時間：2023-08-10 15:37作者：鑠思百檢測

SEM檢測重點(diǎn)是什么？SEM全稱Scanning Electron Microscope，即掃描電鏡，是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。想要了解SEM表征檢測主要檢測的什么，需要先了解SEM，如SEM掃描電鏡的工作原理，其主要檢測哪些內(nèi)容，檢測的樣品是哪些，樣品分別都有什么需求。

圖為武漢鑠思百檢測的SEM掃描電鏡

一、SEM檢測的工作原理

SEM掃描電鏡是一種介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀觀察手段，能夠直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能來進(jìn)行微觀成像。其原理是當(dāng)具有一定能力的電子束轟擊樣品表面的時候，電子與物質(zhì)元素的原子核以及外層的電子產(chǎn)生了單次或者多次的碰撞，一些電子反射出樣品的表面，而一部分則滲入樣品中，被樣品所吸收。在該過程當(dāng)中，大部分的電子能量會轉(zhuǎn)換成樣品熱能，而剩下的則會在其中激發(fā)出各種信號。

二、SEM表征檢測的應(yīng)用范圍

SEM表征檢測可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。SEM一般通過組合EDS使用，可利用EDS進(jìn)行元素成分定性、定量分析。用來觀測芯片內(nèi)部層次和測量各層厚度、觀測并拍攝局部異常照片和測量異常尺寸、測量芯片關(guān)鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污染物的化學(xué)元素組成。

三、武漢鑠思百檢測可做測試項(xiàng)目：

形貌、能譜點(diǎn)掃、能譜線掃、能譜面掃（mapping）；可鍍金，非磁、弱磁、強(qiáng)磁樣品均可拍攝。

1、形貌：儀器放大倍數(shù)范圍是100倍-20W倍，常規(guī)樣品可以拍攝到8-10W倍，導(dǎo)電性不好或磁性樣品大于8W倍可能會不清晰。
2、能譜：SEM能譜一般只能測C（含C）以后的元素，（B元素也能做，但是不準(zhǔn)，不建議做）如果需要打能譜，需要備注好測試位置以及能譜打哪些元素，需要注意的是制樣時待測元素不能與基底成分有重合，如果要測C元素，樣品不要分散到含C的基底上，可以分散到硅片，錫紙上，如果要測Si元素，注意不要制樣到硅片上。

3、鍍金：為了保證拍攝效果，一般導(dǎo)電差或者是強(qiáng)磁性的樣品都需要鍍金之后進(jìn)行拍攝。

非磁、磁性（弱磁、強(qiáng)磁）定義：

含鐵、鈷、鎳、錳等磁性元素均為磁性樣品，吸鐵石能吸起來為強(qiáng)磁，吸鐵石吸不起來為弱磁。

備注：磁性分硬磁和軟磁，有些材料對外不表現(xiàn)磁性，但加磁場后容易磁化，受熱后磁性增強(qiáng)。

四、制樣流程：

1、塊體：直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試，若需拍塊體/薄膜截面，需明確截面制備方法，一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆斷兩種方式；

2、液體：用移液槍取樣品超聲后的懸濁液，滴一滴于硅片或錫紙上，自然風(fēng)干/紅外燈烘干，烘干后將硅片或錫紙用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試；

3、粉末：（1）直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試；

（2）乙醇分散制樣：取少量樣品于離心管中，加入一定量無水乙醇（或水），室溫超聲 5-10min，隨后采用 2 中液體的制樣方式制樣測試。

溫馨提示

1、不定期推出各種優(yōu)惠活動，詳情咨詢客服。

2、測試前聯(lián)系在線客服確認(rèn)測試條件、檢測費(fèi)用、檢測周期等。