SEM用來表征什么？

SEM用來表征什么？SEM全稱Scanning Electron Microscope，即掃描電鏡，是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。想要了解SEM用來表征什么，需要先了解SEM，如SEM掃描電鏡的工作原理，其主要檢測哪些內(nèi)容，檢測的樣品是哪些，樣品分別都有什么需求。

SEM檢測的工作原理
SEM掃描電鏡是一種介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀觀察手段，能夠直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能來進(jìn)行微觀成像。其原理是當(dāng)具有一定能力的電子束轟擊樣品表面的時(shí)候，電子與物質(zhì)元素的原子核以及外層的電子產(chǎn)生了單次或者多次的碰撞，一些電子反射出樣品的表面，而一部分則滲入樣品中，被樣品所吸收。在該過程當(dāng)中，大部分的電子能量會(huì)轉(zhuǎn)換成樣品熱能，而剩下的則會(huì)在其中激發(fā)出各種信號(hào)。

SEM用來表征什么
SEM用來表征樣品的微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價(jià)態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。SEM一般通過組合EDS使用，可利用EDS進(jìn)行元素成分定性、定量分析。用來觀測芯片內(nèi)部層次和測量各層厚度、觀測并拍攝局部異常照片和測量異常尺寸、測量芯片關(guān)鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污 染物的化學(xué)元素組成。

SEM樣品的要求
1、粉末、液體、薄膜、塊體均可。粉末10mg，塊體樣品直徑≤1cm，厚度＜1cm，樣品質(zhì)量不超過200g，味道很大，易揮發(fā)的樣品需提前跟測試工程師聯(lián)系確定是否能做，測試過程中會(huì)升華堵住光瀾，損壞儀器；
3、 混凝土，珊瑚沙，氣凝膠，水凝膠，木材等需要抽真空時(shí)間非常長的樣品尺寸請(qǐng)盡可能直徑≤5mm，厚度≤5mm.
4、 需要脆斷的樣品，尺寸需要≥2*2cm，厚度＜0.5cm，較厚的樣品建議尺寸準(zhǔn)備大些；如果需要特殊制樣的樣品，比如打磨、腐蝕，需要提前跟測試工程師聯(lián)系