tem可以測薄膜樣品嗎 二維碼
發(fā)表時間:2023-08-21 14:01作者:鑠思百檢測 TEM可以測薄膜樣品嗎?TEM是可以測薄膜樣品的。 今天鑠思百檢測小編帶大家來詳細(xì)了解多種TEM制樣方法。 透射電子顯微鏡(Transmission electron microscope, TEM)是使用最為廣泛的電子顯微鏡之一,和掃描電子顯微技術(shù)共同組成了電子顯微學(xué)的“兩大支柱”。TEM測試原理采用通過試樣電子成像并分析其結(jié)構(gòu),因電子穿透能力弱,試樣厚度,導(dǎo)電性,磁性及分散性等性質(zhì)直接影響測試結(jié)果。所以,透射電鏡制樣比掃描電鏡制樣要復(fù)雜、精細(xì)得多,對不同材料應(yīng)按其性質(zhì)而采取適當(dāng)方法。 TEM測試的載樣工具介紹 TEM常用的載樣工具制成桿狀,稱樣品桿,針對不同的測試需求有不同的樣品桿(圖1),樣品搭載在支撐網(wǎng)(通常是銅網(wǎng))里并放在樣品桿前端,每個樣品桿最多只能放1~2個銅網(wǎng)。采用樣品桿載樣具有載樣工具體積小,占用空間亦少,可布置于物鏡內(nèi)上部,利于電鏡分辨率提高等優(yōu)點。缺點是無法一次投入過多的樣品網(wǎng),換樣時必須打破一次樣品室內(nèi)真空,且效率低下。
圖1 TEM樣品桿 【圖片來自網(wǎng)絡(luò)】 支撐網(wǎng)主要有超薄碳膜、微柵銅網(wǎng)、純碳膜、雙聯(lián)載網(wǎng)支持膜等,金屬支撐網(wǎng)的材質(zhì)有多種,如Cu、Ni、Be、尼龍等,選擇時要注意選擇成分有別于待分析樣品的支撐網(wǎng)。 TEM樣品要求 TEM的放大倍數(shù)高、觀測范圍有限、敏感度高,因此為了獲得清晰、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的信號,對TEM的樣品要求也很高。 TEM的樣品種類分為粉末試樣、薄膜試樣、表面復(fù)型和萃取復(fù)型。 ①粉末式樣:主要用于粉末材料的形貌觀察、顆粒度的測定及結(jié)構(gòu)與成分分析等; ②薄膜試樣:樣品內(nèi)部的組織、結(jié)構(gòu)、成分、位錯組態(tài)和密度、相取向關(guān)系等; ③表面復(fù)型和萃取復(fù)型:金相組織觀察、斷口形貌、形變條紋、第二相形態(tài)、分布和結(jié)構(gòu)等。一般而言,TEM的樣品要求如下:樣品一般應(yīng)為厚度小于100 nm的固體;樣品在電鏡電磁場作用下不會被吸出,附于極靴上;樣品在高真空中能保持穩(wěn)定; ④ 不含有水分或其它易揮發(fā)物,如果含有水分或其他易揮發(fā)物的試樣應(yīng)先烘干。 TEM測試注意事項 1,粉體、液體、可測試,薄膜或塊狀樣品不能直接拍攝,需另行制樣(如離子減薄、包埋切片、FIB等); 2,樣品的厚度不超過100nm,如果顆粒稍大一點,可適當(dāng)研磨至100nm以下(可先拍SEM判定顆粒大?。?/p> 3,一般制樣選微柵銅網(wǎng)即可,如果顆粒直徑小于10nm用超薄碳膜制樣;樣品含Cu,需要拍EDS能譜和mapping可選鎳網(wǎng)或者鉬網(wǎng)等;
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