tem的mapping和sem的mapping

使用X射線能譜儀EDS進(jìn)行成分分析時(shí)，一般有三種基本的工作模式，分別為：點(diǎn)測、線掃、面掃。根據(jù)不同的測試要求與目的，可以選擇相應(yīng)的分析模式。今天重點(diǎn)來講一下TEM的mapping和SEM的mapping.

TEM的mapping 和SEM 的mapping模式是一樣的，都是將能譜EDS組合在一起使用的。

TEM的放大倍數(shù)要比SEM的高,當(dāng)然兩者的成像原理也是不同的，SEM是電子束激發(fā)出表面次級電子，而TEM則是穿透試樣，所以TEM樣品要求很薄,只有幾十nm, TEM一般能放大幾百萬倍，而SEM只有幾萬倍。SEM通?？床牧系谋砻嫘蚊?、缺口斷面，TEM則可以觀看材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和形貌。線掃描，用來表示某類元素的變化趨勢，一般在相界面或過渡區(qū)進(jìn)行線掃描，主要了解一條線上各個(gè)點(diǎn)的元素種類和含量；面掃描就是整個(gè)面的元素分布，可以用來估計(jì)合金組成或某些元素的富集區(qū)，主要了解元素的區(qū)域分布；線掃和面掃就是元素種類和含量的一維和二維顯示，只能定性的分析元素的分布情況，點(diǎn)掃比線掃和面掃更準(zhǔn)確，可基本定量分析元素。

TEM的mapping和SEM的mapping都是屬于面掃描

面掃描是使電子束在試樣表面觀察區(qū)掃描，所定義的感興趣元素在顯示器上以不同顏色的點(diǎn)分別顯示出分布圖像，并且與采集的二次電子圖象相對應(yīng)，直觀明了，點(diǎn)越多、亮度越亮，說明元素含量越高。面分析的靈敏度比點(diǎn)、線分析都低，面掃描需要較長時(shí)間收集信號,才能得到比較好的效果，它也是一種定性分析。觀察試樣表面元素分布時(shí)，元素含量高的區(qū)域，顯示的亮點(diǎn)多、亮度高，但背底噪音也會(huì)產(chǎn)生少量亮點(diǎn)，無法和低含量元素區(qū)分。因?yàn)槊鎾呙桁`敏度低，分析時(shí)往往采用大的探針電流，特別對輕元素，如果探針電流小，特征X射線信號很弱，無法顯示元素分布。做面掃描的試樣要求表面光滑。它常用于材料中異物雜質(zhì)、相分布和元素偏析快速檢驗(yàn)。