TEM測試離子減薄

【摘要】

TEM樣品的最終減薄，以獲得電子束透明的觀察區(qū)域。

在制備透射電子顯微鏡薄膜樣品時，鑠思百檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到，大多數(shù)同學沒有太好的處理薄膜樣品的方法，針對此，鑠思百檢測平臺團隊組織相關同事對網上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

離子減薄

目的：TEM樣品的最終減薄，以獲得電子束透明的觀察區(qū)域。

特點：不受材料電性能的影響，即不管材料是否導電，金屬或非金屬或者二者混合物，不管材料結構多復雜均可用此方法制備薄膜。制樣時惰性氣體介質（氬氣）對樣品組織結構無影響。

原理：在電場作用下氬氣被電離成帶Ar+的氬離子，帶著一定能量的氬離子從陽極飛向陰極，通過陰極孔，打在接地的樣品表面，使樣品表面濺射。

注意事項：減薄開始階段，一般采用較高電壓，較大束流，較大角度，這個階段約占整個減薄過程的一半時間，隨后，電壓，束流，角度可相應減小，直到樣品出孔，樣品出孔后，即可轉入樣品拋光階段，這階段主要是改善樣品質量，使薄膜獲得平坦而寬大的薄區(qū)。

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