TEM測試衍射花樣

【摘要】

獲取衍射花樣的方法是光闌選區(qū)衍射和微束選區(qū)衍射，前者多在5平方微米以上，后者可在0.5平方微米以下，我們這里主要講述前者。

在制備透射電子顯微鏡薄膜樣品時，鑠思百檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到，大多數同學沒有太好的處理薄膜樣品的方法，針對此，鑠思百檢測平臺團隊組織相關同事對網上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

實驗方法

獲取衍射花樣的方法是光闌選區(qū)衍射和微束選區(qū)衍射，前者多在5平方微米以上，后者可在0.5平方微米以下，我們這里主要講述前者。

光闌選區(qū)衍射是是通過物鏡象平面上插入選區(qū)光闌限制參加成象和衍射的區(qū)域來實現(xiàn)的。

另外，電鏡的一個特點就是能夠做到選區(qū)衍射和選區(qū)成象的一致性。

衍射花樣的分類：

1）斑點花樣：平行入射束與單晶作用產生斑點狀花樣；主要用于確定第二象、孿晶、有序化、調幅結構、取向關系、成象衍射條件；

2）菊池線花樣：平行入射束經單晶非彈性散射失去很少能量，隨之又遭到彈性散射而產生線狀花樣；主要用于襯度分析、結構分析、相變分析以及晶體的精確取向、布拉格位置偏移矢量、電子波長的測定等；

3）會聚束花樣：會聚束與單晶作用產生盤、線狀花樣；可以用來確定晶體試樣的厚度、強度分布、取向、點群、空間群以及晶體缺陷等。

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