XPS刻蝕是什么意思,有什么作用

XPS刻蝕是什么意思？有同學(xué)經(jīng)常做XPS測試，卻不太清楚XPS刻蝕是什么意思，今天武漢鑠思百檢測小編帶大家詳細了解一下XPS刻蝕。我們先來了解一下XPS。

X 射線光電子能譜( X-ray photoecectron spectroscopy， XPS) 技術(shù)是一種通過一束入射到樣品表面3~10nm 深度的光子束，檢測材料表面信息的無損測量技術(shù)。XPS 技術(shù)能很好地使樣品保持其原有的結(jié)構(gòu)信息，可用于定性和定量分析材料表面的元素組成和含量，以及分析元素的化學(xué)價態(tài)、化學(xué)鍵 等信息。

那XPS刻蝕是什么意思呢？

XPS刻蝕原理介紹：XPS就是單原子深度剖析，利用離子束刻蝕表面層或者表面污染層，從而獲取亞表層信息。 XPS 分析與一系列離子槍循環(huán)刻蝕結(jié)合，得到定量信息和厚度信息。 將物質(zhì)從樣品上剝離之前，記錄下樣品表面的能譜或一組能譜。 離子束在樣品表面一個正方形或矩形區(qū)域內(nèi)作光柵式掃描，刻蝕表面。 經(jīng)過一次刻蝕循環(huán)后，遮擋住離子束，記錄下一組能譜。 如此重復(fù)刻蝕、能譜采集，直到剖析到所需深度。

XPS刻蝕是什么意思，XPS刻蝕有什么作用呢？

由于樣品本身的層狀結(jié)構(gòu)如鍍膜、氧化和鈍化等原因?qū)е缕湓谏疃确较蛏匣瘜W(xué)狀態(tài)的差異。前面提到的非破壞性方法僅限于檢測物體表面1~10nm內(nèi)的組分變化，但為了獲得大于10nm深度的信息，必須在XPS設(shè)備的分析室用惰性氣體離子轟擊，對樣品表面進行刻蝕。

XPS刻蝕深度剖析主要是研究元素化學(xué)信息在樣品中的縱深分布。通過利用氬離子槍對樣品表面進行氬離子濺射剝離，控制合適的濺射強度及濺射時間，將樣品表面刻蝕到一定深度，然后進行取譜分析。為了獲得準確的濺射深度，一般采用與被測樣品相近或相同的厚度標準物質(zhì)校準濺射速率，從而根據(jù)濺射時間計算得到校準后對應(yīng)元素分布的濺射深度。

為了避免刻蝕采用的離子束與被測樣品的相互作用，得到高質(zhì)量的深度剖析測量結(jié)果，刻蝕必須在高真空下進行。刻蝕和取譜交替操作，便可得到樣品化學(xué)信息隨深度的變化規(guī)律，極大地擴展了 XPS的檢測范圍。

XPS刻蝕是什么意思？

簡單來說就是：xps測試深度是納米級別的，所以可以結(jié)合濺射去除表面氧化，刻蝕樣品表面，得到深層的有效信息。

圖為XPS刻蝕的數(shù)據(jù)圖譜

-END-

本公司位于湖北武漢，從事檢測行業(yè)十多年，專業(yè)提供XPS、ICP、SEM+EDS/SEM云視頻 TEM+EDS/TEM云視頻、XRD、AFM、BET、TG-DSC、粒度、Zeta電位、RAMAN、順磁、核磁、熒光等測試服務(wù)。我們一直致力于為高校、科研院所、企業(yè)提供一站式專業(yè)測試服務(wù)。歡迎各行各業(yè)咨詢！歡迎開展科研項目合作、科研經(jīng)費報銷合作等。長期合作價格優(yōu)惠。

溫馨提示

1、不定期推出各種優(yōu)惠活動，詳情咨詢客服。

2、測試前聯(lián)系在線客服確認測試條件、檢測費用、檢測周期等。

檢測咨詢熱線：15071040697(手機同微信）   黃工QQ：82187958

公司網(wǎng)站：m.gzbj666.cn   武漢鑠思百檢測技術(shù)有限公司

做XPS刻蝕怎么收費？掃描下方二維碼獲取詳細報價