xps的vms格式怎么處理

xps的vms格式怎么處理？鑠思百檢測(cè)小編給大家整理了相關(guān)步驟，接下來我們一起來看一下。

一、不同格式數(shù)據(jù)之間的轉(zhuǎn)換

（1）將非filename.vms格式數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成filename.vms格式數(shù)據(jù)

Casaxps處理filename.vms格式的數(shù)據(jù)，儀器可以直接給filename.vms格式的數(shù)據(jù)，但一般情況下給出的是filename，不加任何后綴的文件，這種文件可以用記事本，excel，origin等打開，但是不能用Casaxps打開，但是可以轉(zhuǎn)換成可以用casaxps打開的文件，轉(zhuǎn)換方式如下：

將原始數(shù)據(jù)用Excel打開，將binding energy和intensity（CPS） 兩列數(shù)據(jù)取出放在一個(gè)新建的txt文檔下，刪掉一些沒用的東西，確保數(shù)據(jù)格 式符合X-Y兩列。將修改好的txt文檔改為dat文檔（直接修改后綴），然后將 dat文件放在一個(gè)只有dat文件的專門文件夾里，這個(gè)很重要，如果這個(gè)文 件夾里有其它格式的文件，那么就無法完成數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)換。

打開casaxps軟件， 點(diǎn)convert按鈕，在專門存放dat數(shù)據(jù)的文件夾下找到需要轉(zhuǎn)換的文件，打開 就完成了轉(zhuǎn)換。記住，一旦打開就會(huì)在該文件夾下生成一個(gè)filename.vms格式的文件，這樣會(huì)導(dǎo)致其它文件無法轉(zhuǎn)換，將這個(gè)新生成的文件轉(zhuǎn)移到其它文件夾下就可以了，這樣新生成的filename.vms文件就可以直接在 Casaxps里面打開了。

在Casaxps里面將filename.vms格式的文件打開， 點(diǎn)擊 save Tab Ascll to clipbard 按鈕 , 出現(xiàn)如下界面， 點(diǎn)擊copy all to clipboard鍵， 將clipboard section 界面關(guān)閉后， 將復(fù)制的數(shù)據(jù)粘貼到txt文檔即可。

二、Casaxps軟件處理filename.vms格式的文件

1. 用casaxps處理寬譜 能夠得到的信息

（1）定性分析

歸屬寬譜中各個(gè)峰。圖1為經(jīng)過峰歸屬后所得到得xps譜圖。

峰歸屬步驟

打開vms格式文件，點(diǎn)擊Options →Elements，出現(xiàn)Element library窗口，點(diǎn)擊Periodic table，出現(xiàn)一張?jiān)刂芷诒恚c(diǎn)擊find peak，寬譜上各個(gè)峰就被歸屬了。但是，這時(shí)候歸屬的峰多，不容易分辨，可以做一些修飾。

點(diǎn)擊 Options →Annotation，出現(xiàn)Annotation窗口，點(diǎn)擊peak labels，會(huì)出現(xiàn)很多峰相對(duì)應(yīng)的信息如O1s、C1s等等，點(diǎn)擊其中一個(gè)，點(diǎn)Apply，峰就被標(biāo)記出來，這樣標(biāo)記完所有重要而又明顯的峰后，再次點(diǎn)擊Options →Elements→Periodic table→Clear all elements， 峰歸屬與標(biāo)記就完成了。

然后點(diǎn)擊Options → Tile display，出現(xiàn)Tile display parameter窗口，點(diǎn)Display，該窗口的最下面有Title，在空白框里輸入想命名的英文文件名，如GaN1 wide。

（2）元素含量分析

含量分析步驟

在峰歸屬基礎(chǔ)上，點(diǎn)擊 Options →Elements→Periodic table→Find peaks， 寬譜上可能有的元素在周期表上為紅色，選擇想要計(jì)算元素含量的元素，點(diǎn) 擊Creat Region ,就計(jì)算出了各個(gè)元素的含量，然后點(diǎn)擊Clear all elements。

另一種計(jì)算含量的方法： 正確識(shí)別各峰后，可以按照處理窄譜的方法處理寬普：點(diǎn)擊工作區(qū)使其處于激活狀態(tài)， 點(diǎn)擊quantify 按鈕，出現(xiàn)下面界面，點(diǎn)regions，再點(diǎn)creat，

點(diǎn)creat出現(xiàn)下面界面后，如圖中紅箭頭所指位置處，左右移動(dòng)邊界，選定要計(jì)算含量的區(qū)域，得到如下圖：按照此方法將其與需要計(jì)算含量的元素的區(qū)域畫出來。

在Annotation窗口下，點(diǎn)Quantification, 選上如圖的選項(xiàng)，點(diǎn)Apply就會(huì)得到含量報(bào)告。

元素含量和峰重合，看不清，怎樣將它們分開呢？

方法1：如下所示快捷鍵，任意點(diǎn)擊一個(gè)按鈕可以將譜圖移動(dòng)，按自己的需要來點(diǎn)擊這兩個(gè)按鈕，直至達(dá)到要求為止。

方法2：如下圖，在annotation窗口下，點(diǎn)擊annotation history,將其激活，會(huì)出現(xiàn)左圖，有紅色方框的說明能夠移動(dòng)，點(diǎn)住name上的紅色方框，向右移動(dòng)即可。

一些常用的快捷鍵

這些快捷鍵相關(guān)的操作在option下均可以找到。

三、使用Casaxps處理精細(xì)譜

具體操作步驟：扣背底 --分峰、擬合--含量計(jì)算

打開vms格式的窄譜文件，點(diǎn)擊工作區(qū)使其處于激活狀態(tài)，點(diǎn)擊quantify 按鈕，出現(xiàn)下面界面，點(diǎn)regions，再點(diǎn)creat。

點(diǎn)creat出現(xiàn)下面界面后，如圖中紅箭頭所指位置處，左右移動(dòng)邊界，選定要分峰的區(qū)域， 即扣背底。

扣背底后出現(xiàn)下面界面

點(diǎn)component，在component狀態(tài)下點(diǎn)擊creat，根據(jù)譜圖特點(diǎn)點(diǎn)擊creat分出一個(gè)峰后先 擬合一下，再點(diǎn)擊creat分第二個(gè)峰，擬合

在component狀態(tài)下點(diǎn)擊creat，直至分出所有峰，點(diǎn)擊 Fit component，出現(xiàn)以下界面。

點(diǎn)annotation 按鈕，激活component，點(diǎn)apply，出現(xiàn)以下界面。完成分峰、擬合、 含量計(jì)算。

荷電校正

由于在測(cè)試過程中會(huì)發(fā)生結(jié)合能的偏移，完成分峰擬合含量計(jì)算之后就要進(jìn)行荷電校正，我們的儀器一吸附碳的結(jié)合能284.6eV作為標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行校正，步驟如下：

點(diǎn)擊processing按鈕，出現(xiàn) 如下窗口， 點(diǎn)擊calibration, 在measured后面的空格中 輸入吸附碳測(cè)量值， 在true后面的空格中輸入 標(biāo)準(zhǔn)值284.6， 將有圖紅色框中的兩個(gè) 選項(xiàng)打鉤， 點(diǎn)apply即可

下面的結(jié)果就是經(jīng)過校正后的最終結(jié)果

四、將擬合好的數(shù)據(jù)保存為.txt格式

點(diǎn)擊 save Tab Ascll to clipbard按鈕 ,出現(xiàn)如下界面，點(diǎn)擊copy all to clipboard鍵，將clipboard section 界面關(guān)閉后，將復(fù)制的數(shù)據(jù)粘貼到txt文檔即可。

如果該步操作無法進(jìn)行，可能是沒有輸入該軟件的用戶名和序列碼，點(diǎn)擊help下拉菜單about Casaxps,輸入正確的用戶名和序列號(hào)（用戶名和序列號(hào)保存在SN.txt文本文檔中），其它的操作如上。

五、將從Casaxps轉(zhuǎn)換出的數(shù)據(jù)導(dǎo)入到origin

將從casaxps轉(zhuǎn)換出的數(shù)據(jù)導(dǎo)入到origin后的譜圖

導(dǎo)入到origin后可以像處理其它數(shù)據(jù) 一樣，去掉第一列（動(dòng)能列），修改 一下坐標(biāo)，作圖，標(biāo)注峰名稱，就得 到可以應(yīng)用的最終結(jié)果。

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