掃描電鏡怎么測能譜

圖1：電子物質(zhì)相互作用中產(chǎn)生不同信號的例證

掃描電鏡中能譜的原理每個(gè)原子都有一個(gè)獨(dú)特的電子數(shù)，它們在特定位置的正常條件下存在，如圖2所示。這些位置屬于特定的軌道，它們擁有不同的、離散的能量。

SEM中X射線的生成一共有兩個(gè)步驟。

在第一步中，電子束撞擊樣品并將部分能量轉(zhuǎn)移到樣品的原子上。這種能量可以被原子的電子用來“跳躍”到具有更高能量的能量軌道，或者是脫離原子。如果發(fā)生這樣的轉(zhuǎn)變，電子就會(huì)留下一個(gè)空位?？瘴幌喈?dāng)于一個(gè)正電荷，在這個(gè)過程的第二步，空位會(huì)吸引來自高能量軌道的電子填補(bǔ)進(jìn)來。當(dāng)這樣一個(gè)高能量軌道的電子填滿了低能量軌道的空位時(shí)，這種轉(zhuǎn)換的能量差可以以X射線的形式釋放出來。X射線的能量是通過這兩個(gè)軌道之間能量差的特征所展現(xiàn)出來的。

它取決于原子序數(shù)，是每個(gè)元素的唯一屬性。所以，X射線是每個(gè)元素的“指紋”，可以用來識別樣品中存在的元素的類型。

圖2：X射線生成過程：1）將能量轉(zhuǎn)移到原子電子上，使其脫離生成一個(gè)空位，2）空位由更高能量的另一個(gè)電子填充，并釋放出X射線。

EDX能譜分析：X射線如何工作

與BSE，SE和TE不同，X射線是電磁輻射，就像光一樣，由光子組成。為了檢測它們，最新的系統(tǒng)使用了硅漂移探測器（SDD）。由于其具有更高的計(jì)數(shù)率、更好的分辨率和更快的分析能力，都優(yōu)于傳統(tǒng)的Si（Li）探測器。這些探測器被置于一個(gè)特定角度，非常接近樣品，并且有能力測量X射線的光子能量。探測器與樣品之間的立體角越高， X射線檢測概率越高，因此獲得最佳結(jié)果的可能性也越大。

圖3：典型的EDX光譜：y軸描述X射線數(shù)量，x軸是X射線的能量。峰的位置是對元素的識別，峰高有助于對樣品中各元素濃度的量化。

由SEM能譜EDX分析產(chǎn)生的數(shù)據(jù)包含了樣品中所有不同元素對應(yīng)的峰值的光譜。在圖3中可以看到，每一個(gè)元素都有獨(dú)特能量的特征峰。

此外，SEM能譜EDX可以用于定性（元素的類型）以及定量（樣本中每個(gè)元素的濃度百分比）的分析。在大多數(shù)SEM中，專用軟件可以自動(dòng)識別峰值，并計(jì)算檢測到的每個(gè)元素的原子百分比。SEM能譜EDX技術(shù)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，它是一種非破壞性的表征技術(shù)，需要很少或不需要樣品的制備。