二次離子質(zhì)譜可以測(cè)什么

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發(fā)表時(shí)間：2024-01-27 13:30作者：鑠思百檢測(cè)

二次離子質(zhì)譜可以測(cè)什么？二次離子質(zhì)譜儀SIMS分析對(duì)象包括金屬及合金、半導(dǎo)體、絕緣體、有機(jī)物、生物膜等。下面鑠思百檢測(cè)為大家介紹下關(guān)于二次離子質(zhì)譜分析，二次離子質(zhì)譜可以測(cè)什么方面知識(shí)。

二次離子質(zhì)譜（secondaryionmassspectroscopy，簡(jiǎn)稱SIMS），是一種非常靈敏的表面成份精密分析儀器，原理利用質(zhì)譜法分析初級(jí)離子入射靶面后，樣品表面被高能聚焦的一次離子轟擊時(shí)，一次離子注入被分析樣品，把動(dòng)能傳遞給固體原子，引起中性粒子和帶止負(fù)電荷的二次離子發(fā)生濺射，然后根據(jù)濺射的二次離子的質(zhì)量信號(hào)，對(duì)被轟擊樣品的表面和內(nèi)部元素分布特征進(jìn)行分析。

通過不同的操作模式，測(cè)試可以得到表面質(zhì)譜、表面成像、深度剖析和三維分析信息，用來完成工業(yè)生產(chǎn)和科研研究過程中所需的摻雜和雜質(zhì)深度數(shù)據(jù)；淺注入和超薄膜的超高分辨率深度分析；芯片結(jié)構(gòu)及雜質(zhì)元素定性定量分析；薄膜的組成和雜質(zhì)的測(cè)量等，這種技術(shù)本身具有“破壞性”的物質(zhì)濺射，可以應(yīng)用在包括但不僅限于金屬及合金、半導(dǎo)體、絕緣體、有機(jī)物、生物膜分析對(duì)象上。

質(zhì)量分析器可采用單聚焦、雙聚焦，飛行時(shí)間、四極桿、離子阱、離子回旋共振等，其中飛行時(shí)間離子質(zhì)譜TOF-SIMS是通過將二次離子質(zhì)譜分析技術(shù)（SIMS）與飛行時(shí)間質(zhì)量分析器（TOF）結(jié)合起來，由于其一次脈沖就可得到一個(gè)全譜，離子利用率最高，能最好地實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品幾乎無損的靜態(tài)分析，分析速度快和樣品的消耗極少，分析質(zhì)量范圍寬，對(duì)有機(jī)、無機(jī)材料都有很好的分析能力。

一、二次離子質(zhì)譜SIMS可以測(cè)什么？

、二次離子質(zhì)譜分析

1）測(cè)試范圍：

1、摻雜和雜質(zhì)深度分析

2、淺注入和超薄膜的超高分辨率深度分析

3、芯片分析，芯片結(jié)構(gòu)及雜質(zhì)元素定性定量分析

4、薄膜的組成和雜質(zhì)的測(cè)量

2）SIMS測(cè)試樣品：

SiC基部分元素定量分析

GaN基（Mg、Si、C、O等）

Si基（C、H、O等）

目前TOF-SIMS技術(shù)在多個(gè)領(lǐng)域已經(jīng)成為了一種常規(guī)性的測(cè)試方法，實(shí)驗(yàn)室提供德國ION-TOF的先進(jìn)TOF-SIMS儀器檢測(cè)服務(wù)，可以為客戶提供完善的SIMS技術(shù)解決方案。已完成礦石薄膜深度剖析、合金表面元素分析等多項(xiàng)實(shí)驗(yàn)服務(wù)案例，對(duì)有機(jī)與無機(jī)材料、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、催化劑、生物、薄膜、涂層及納米材料等的進(jìn)行測(cè)試。

二、鑠思百檢測(cè)——二次離子質(zhì)譜SIMS結(jié)果展示

1、質(zhì)譜+分析

質(zhì)譜測(cè)試：只給出校正后的圖片和TXT數(shù)據(jù)。

質(zhì)譜+數(shù)據(jù)處理：會(huì)給出校正后的圖片和所有的離子譜峰歸屬列表。