光學(xué)輪廓儀的作用

光學(xué)輪廓儀的作用是什么？光學(xué)輪廓儀是基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的，能以非接觸的方式，無損檢測精密機(jī)械加工表面，檢測結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，能直觀地展示了表面紋理特征。比如在材料科學(xué)研究，新型材料制備等方面有著廣泛應(yīng)用（如測量材料基體和鍍膜后表面形貌和粗糙度，測量材料的磨損性能等）。

光學(xué)輪廓儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器，所以也叫白光干涉儀。它是一種對光在兩個(gè)不同表面反射后行程的干涉條紋進(jìn)行分析的儀器。基本原理式通過不同光學(xué)元件行程參考光路和檢測光路。

光學(xué)輪廓儀是通過觀察物體表面對光線的反射成像，進(jìn)而計(jì)算出物體表面的形狀和粗糙度。而白光干涉儀則是利用光的干涉現(xiàn)象來測量物體表面的形態(tài)和精度。

光學(xué)輪廓儀的作用和應(yīng)用

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

結(jié)果組成：

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。