GB_T 29851-2013光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)量方法

【國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)】標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB / T 29851 — 2013

　中文名：光伏電池用硅材料中B 、Al受主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)量方法

　范圍：

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用二次離子質(zhì)譜儀( SIMS )測(cè)定光伏電池用硅材料中硼和鋁含量的方法。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電 池用硅材料中 受主雜質(zhì)硼和鋁含量的 定量分析, 其中 硼和鋁 的 濃度 均大于1×10¹³atoms/ cm³。其他受主雜質(zhì)的測(cè)量也可參照本標(biāo)準(zhǔn)。

原理

在高真空條件下, 氧離子源產(chǎn)生的一次離子, 經(jīng)過(guò)加速、純化、聚焦后, 轟擊樣品表面, 濺射出 多種粒子, 將其中的離子(即二次離子)引 出 , 通過(guò)質(zhì)譜儀將不同荷質(zhì)比的離子分開(kāi), 記錄并計(jì)算樣品中硼、鋁分別與硅的二次離子強(qiáng)度比( B⁺)/(Si⁺)、( Al⁺)/( Si⁺), 然后利用其相對(duì)靈敏度因子進(jìn)行定量。

　發(fā)布時(shí)間：2013-11-12

　實(shí)施時(shí)間：2014-04-15

　頒發(fā)部門(mén)：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

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