測試儀器之臺階儀-膜厚儀-探針接觸式輪廓儀-3D輪廓儀

二維碼

發(fā)表時(shí)間：2019-12-20 14:04作者：武漢鑠思百檢測技術(shù)有限公司來源：鑠思百檢測

臺階儀-膜厚儀-探針接觸式輪廓儀-3D輪廓儀

工作原理:

臺階儀的工作原理。臺階儀最主要的工作就是測量，當(dāng)臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時(shí)，被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進(jìn)行滑行的同時(shí)也做一些上下運(yùn)動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運(yùn)動情況所體現(xiàn)出來。當(dāng)輸出的信號經(jīng)過測量的電橋之后，輸出的信號與觸針的平衡位子的位移此刻成正比，調(diào)幅的信號也就隨之出現(xiàn)，經(jīng)過放大和整流之后，位移信號就從調(diào)幅信號中解調(diào)出來了，信號就變得相應(yīng)緩慢，半導(dǎo)體厚度測試臺階儀，也就能在控制器中被讀出來。隨之噪音濾波器以及波度濾波器會對調(diào)制頻率以及外界的干擾信號等因素進(jìn)行進(jìn)一步的過濾，誤差所帶來的影響也隨之減小。

典型應(yīng)用：

太陽能電池、太陽能集熱器等 PVD(物理氣相沉積)太陽能涂層研究，對薄膜材料常規(guī)性能的檢測臺階膜厚儀

它廣泛應(yīng)用于太陽能薄膜材料、半導(dǎo)體硅片、微電子器件、薄膜化學(xué)涂層、平板顯示器等研究領(lǐng)域。在新型薄膜材料的開發(fā)研究工作上極為重要。

儀器性能：

掃描長度：≤30mm；

垂直測量范圍（最大臺階高度）：≤1.9mm；

掃描速度：2μm/s到200μm/s；

垂直范圍分辨率：2.5μm臺階高度內(nèi)測量分辨率0.1nm；

重復(fù)精度：0.6nm或0.1%臺階高度

最大樣品厚度：≤20mm；

樣品要求：

長寬小于30mm，厚度小于20mm

檢測項(xiàng)目：

1、薄膜、涂層厚度測量；

2、臺階高度測量；

3、表面粗糙度測量；

4、2維薄膜應(yīng)力測量；

5、平坦度、波紋度、曲率測量；

6、表面輪廓（缺陷、形貌等）測量。

科研實(shí)驗(yàn)，儀器預(yù)約，鑠思百檢測

鑠思百檢測動態(tài)

武漢鑠思百檢測簡介

武漢鑠思百檢測，是華中地區(qū)專業(yè)的第三方檢測平臺，提供材料檢測服務(wù)，常規(guī)測試3-5個(gè)工作日出檢測結(jié)果，鑠思百檢測專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器，專業(yè)科研團(tuán)隊(duì)碩博測試工程師90%，鑠思百檢測，堅(jiān)持“恪守信譽(yù)、質(zhì)量第一、客戶第一”