俄歇電子能譜儀（AES）

俄歇電子能譜儀（AES）

圖1   俄歇電子能譜儀

關(guān)鍵詞：俄歇電子能譜儀（AES）

原理：具有一定能量的電子束(或X射線)激發(fā)樣品俄歇效應(yīng)，通過檢測俄歇電子的能量和強度，從而獲得有關(guān)材料表面化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)的信息的方法。

圖2 俄歇電子能譜儀結(jié)構(gòu)

適合分析材料:金屬、高分子等材料，薄膜，涂層等

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體技術(shù)、冶金、催化、礦物加工和晶體生長等。

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