二次級(jí)離子質(zhì)譜儀(SIMS)

二次級(jí)離子質(zhì)譜儀(SIMS)

關(guān)鍵詞：二次級(jí)離子質(zhì)譜儀(SIMS)

原理：通過(guò)發(fā)射熱電子電離氬氣或氧氣等離子體轟擊樣品的表面，探測(cè)樣品表面溢出的荷電離子或離子團(tuán)來(lái)表征樣品成分。可以對(duì)同位素分布進(jìn)行成像，表征樣品成分;探測(cè)樣品成分的縱向分布

圖1　二次級(jí)離子質(zhì)譜儀(SIMS)

適合分析材料:金屬，半導(dǎo)體陶瓷，有機(jī)物

應(yīng)用領(lǐng)域：物理，化學(xué)，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面。

特點(diǎn)：

⑴、對(duì)某些元素極其表面靈敏(10-6單層)；在靜態(tài)模式下探測(cè)深度限制在最頂單層。

⑵、可測(cè)所有元素，包括H和同位素識(shí)別。

⑶、較好的橫向分辨(1m)。

⑷、在動(dòng)態(tài)模式下同時(shí)深度剖析。

⑸、在動(dòng)態(tài)模式下具有探測(cè)攙雜級(jí)濃度的充分的靈敏度動(dòng)態(tài)范圍的唯一技術(shù)。

鑠思百檢測(cè)動(dòng)態(tài)

• 鑠思百檢測(cè)簡(jiǎn)介

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XPS測(cè)試，ICP測(cè)試，SEM測(cè)試，EDS測(cè)試，TG測(cè)試，EBSD測(cè)試，TEM測(cè)試，BET測(cè)試,XRD測(cè)試，紅外測(cè)試，拉曼測(cè)試，固體核磁，元素分析，離子減薄制樣，F(xiàn)IB制樣，等等更多測(cè)試請(qǐng)咨詢?cè)诰€客服

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