TEM透射電鏡粉末樣品制樣方法

TEM透射電鏡粉末樣品制樣方法

1. 粉末滴樣法

　　適用范圍：可直接分散于溶劑中的粉末樣品/納米粒子。由于TEM透射電鏡觀察時，尺寸太大/太厚的顆粒不能被電子束穿透，所以納米粒子尺寸/厚度最好在亞微米或納米尺度。

　　案例：量子點，納米線，納米片，塊體材料經(jīng)研磨后的粉末，等等。

　　操作方法：將粉末放在溶劑里(無水乙醇，蒸餾水，己烷，等等)，采用超聲分散均勻后(一般選擇20分鐘左右，特殊情況需注明)，滴在支持膜(普通碳膜，超薄碳膜，微柵，銅網(wǎng)，金網(wǎng)，鉬網(wǎng)，等等)上，干燥后進行透射電鏡觀察。

　　2. 樹脂包埋法+離子減薄法

　　適用范圍：由于尺寸較大，不可直接分散于溶劑中的顆粒樣品。

　　包埋劑：理想的包埋劑應具有高強度，高溫穩(wěn)定性，與多種溶劑(如乙醇、丙酮等)不起反應，常用的幾種包埋劑： G-1， G-2，610，812E。

　　制樣方法：樹脂包埋后， 采用超薄切片制備TEM樣品;或采用機械研磨的方法減薄至50μm左右，然后氬離子轟擊減薄。具體過程根據(jù)實驗材料及測試目的進行選擇。

      3. FIB制樣?

        FIB利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數(shù)電子顯微鏡實時觀察，成為了納米級分析、制造的主要方法。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、離子注入、切割和故障分析等。

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