GB T 36969-2018 納米技術(shù) 原子力顯微術(shù)測定納米薄膜厚度的方法

【國家標(biāo)準(zhǔn)】標(biāo)準(zhǔn)號：GB T 36969-2018

中文名：納米技術(shù) 原子力顯微術(shù)測定納米薄膜厚度的方法

范圍：

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用原子力顯微術(shù)(AFM) 測量納米薄膜厚度的原理、測試條件、設(shè)備、樣品、測試步驟和數(shù)據(jù)處理。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于表面均勻、平整的納米范圍厚度的無機(jī)材料薄膜。較厚的和一些有機(jī)薄膜的膜厚測定也可參照執(zhí)行。

原理：

首先利用原子力顯微鏡( AFM )測試得到包含納米薄膜臺階在內(nèi)的微觀形貌。原子力顯微鏡是使用針尖接觸樣品表面,用同距離有關(guān)的針尖與樣品間相互作用力作為反饋, 反饋系統(tǒng)根據(jù)檢測器電壓的變化不斷調(diào)整針尖或樣品z軸方向的位置, 通過測量檢測器電壓對樣品掃描位置的變化, 從而得到樣品的表面形貌圖像(見GB/T31227)。然后從形貌圖中計算出薄膜和其基底的高度差數(shù)值, 即得到了薄膜的厚度。

　發(fā)布時間：2018-12-28

　實施時間：2018-12-28

　頒發(fā)部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

鑠思百檢測動態(tài)

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測試流程

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4、測試委托單和樣品郵寄

5、聯(lián)系客服付款

6、安心等待

7、接受數(shù)據(jù)發(fā)票

8、后期服務(wù)

以上是對于測試的相關(guān)介紹，如有其它檢測需求可以咨詢實驗室工程師，為您一對一服務(wù)。

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