GBT 30701-2014表面化學分析化學收集法和全反射X射線熒光光譜法(TXRF) 二維碼
發(fā)表時間:2019-10-23 14:46作者:武漢鑠思百檢測技術(shù)有限公司來源:鑠思百 GBT 30701-2014表面化學分析化學收集法和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)硅片工作標準樣品表面元素的測定 本標準規(guī)定了硅片工作標準樣品表面鐵、鎳元素的化學收集方法(氣相分解法或直接酸滴分解法)和全反射X射線熒光光譜法(TXRF)。本標準適用于原子表面密度在6×10<;上標9>;原子\/cm<;上標2>;~5×10<;上標11>;原子\/cm<;上標2>;范圍內(nèi)的鐵和/或鎳。 發(fā)布時間:2014-06-09 實施時間:2014-12-01 發(fā)布部門:國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 鑠思百檢測動態(tài)
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