臺階儀-膜厚儀-探針接觸式輪廓儀-3D輪廓儀
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預(yù)約詳情 儀器名稱: 臺階儀,膜厚儀,探針接觸式輪廓儀,3D輪廓儀 型 號: 美國KLA-Tencor D-120 檢測項目: 1、薄膜、涂層厚度測量; 2、臺階高度測量; 3、表面粗糙度測量; 4、2維薄膜應(yīng)力測量; 5、平坦度、波紋度、曲率測量; 6、表面輪廓(缺陷、形貌等)測量。 應(yīng)用范圍: 可用于微電子、半導體、太陽能、薄膜、材料等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)納米 級別表面二維形貌測量。垂直分辨率最大1A;垂直范圍0-1mm; 單次掃描長度范圍小于55mm。 制樣要求: 長寬小于30mm,厚度小于20mm, 測試提示: 1.可開正規(guī)測試發(fā)票,附帶測試清單。 2.有腐蝕性,毒性,或其他有危害性等特殊樣品要事先告知測試人員,測試人員也要告知樣品方哪些樣品不能測或會對儀器產(chǎn)生損傷,測試后會對樣品產(chǎn)生哪些變化; 3.客戶需提供詳細的樣品資料,包括元素,主要成分和詳細測試參數(shù)及條件。和測試人員充分討論,商定最終測試條件; 4.測試人員與顧客通過QQ或郵件溝通,出現(xiàn)測試糾紛,郵件或聊天記錄將作為重要的仲裁依據(jù);請加QQ和技術(shù)人員交流:82187958。 5.杜絕測試、解析和合成違反國家相關(guān)法律法規(guī)的樣品,一經(jīng)發(fā)現(xiàn)將追究其法律責任。 |
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