X射線光電子能譜儀（XPS）

u項目簡介

XPS測試注意事項

1. XPS可以做的項目：常規(guī)全譜窄譜測試、俄歇譜、價帶譜、深度濺射、MAPPING、角分辨

2. XPS測試的元素范圍是Li-Cm，H、He元素不能測試，放射性元素請?zhí)崆皽贤?/span>

3. XPS數(shù)據(jù)分析可以等到元素的價態(tài)及半定量數(shù)據(jù)。原子百分含量小于5%的元素可能測不出明顯信號

4. 無特殊說明，默認(rèn)是使用單色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV

5. 使用Al Kα X-ray會出現(xiàn)的重疊譜峰，當(dāng)有重疊譜峰的時候直接定量的結(jié)果不能參考。下方是常見的一些重疊譜峰的情況，解決方法是a.通過分峰擬合（這個是數(shù)據(jù)分析的內(nèi)容）后再重新定量，b.測試其他軌道的峰，需要備注相應(yīng)的軌道，默認(rèn)是測試最強峰，c.如果是與部分元素的俄歇峰重疊，建議可以更換靶材試試，比如Mg靶

常見重疊譜峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。

u樣品要求

1. 樣品狀態(tài)：可為粉末、塊狀、薄膜樣品

2. 粉末樣品：20-30mg

3. 塊狀、薄膜樣品：塊體/薄膜樣品尺寸小于5*5*3mm

注意：默認(rèn)是一個樣品測試一個位置，需要測試多個位置按照多個樣品計費。薄膜、塊體等樣品，若樣品表面組分不均勻，會造成測試結(jié)果的差異！

u結(jié)果展示

（1）Thermo Scientific K-Alpha是相對常用的設(shè)備，其結(jié)果如下：

測試結(jié)果給出的是VGD格式和EXCEL格式測試結(jié)果。EXCEl格式文件用ORIGIN軟件作圖；VGD格式文件可以用Avantage分析軟件打開。

（2）PHI的格式如下：

測試結(jié)果給出的是原始文件SPE格式和EXCEL格式。EXCEL格式文件用Origin軟件作圖；SPE格式需要軟件Multipak打開（但定量需要注意靈敏度因子)。我們也提供XPS數(shù)據(jù)分析服務(wù)！如果您需要XPS數(shù)據(jù)分析與作圖服務(wù)，請聯(lián)系工程師15071040697

u常見問題

1. 樣品精細(xì)譜掃出譜峰？為什么全譜里沒有呢？

全譜主要是用來定性分析的，設(shè)置參數(shù)的步長比較大，含量低的在全譜里掃不出譜峰。但是精細(xì)譜掃出譜峰就表示有該元素。

2. 每種元素的檢測限一樣么？

不一樣。每種元素的主峰的靈敏度因子都不一樣。

3. 怎么判斷擬合是好是壞，是擬合了兩個峰算好還是擬合了三個峰算好？

看波動大小，越小越好；還要看對應(yīng)的物理意義。波動如下圖所示。具體擬合幾個峰，要參考樣品本身的情況，以及擬合的貼合度，沒有嚴(yán)格的界定哪個更好。

u測試提示：

1.可開正規(guī)測試發(fā)票，附帶測試清單。

2.有腐蝕性，毒性，或其他有危害性等特殊樣品要事先告知測試人員，測試人員也要告知樣品方哪些樣品不能測或會對儀器產(chǎn)生損傷，測試后會對樣品產(chǎn)生哪些變化；

3.客戶需提供詳細(xì)的樣品資料，包括元素，主要成分和詳細(xì)測試參數(shù)及條件。和測試人員充分討論，商定最終測試條件；

4.測試人員與顧客通過QQ，微信或郵件溝通，出現(xiàn)測試糾紛，郵件或聊天記錄將作為重要的仲裁依據(jù)；請加QQ和技術(shù)人員交流。QQ：82187958。微信：15071040697

5.杜絕測試、解析和合成違反國家相關(guān)法律法規(guī)的樣品，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)將追究其法律責(zé)任。