GB T 25189-2010掃描電鏡和能譜儀定量分析參數(shù)的測(cè)定

GB＜T 25189-2010掃描電鏡和能譜儀定量分析參數(shù)的測(cè)定

范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡-能譜儀定量分析化學(xué)成分的有關(guān)參數(shù)的測(cè)定方法，適用于影響掃描電鏡定量分析性能的有關(guān)參數(shù)和能譜儀基本參數(shù)的測(cè)定。并根據(jù)元素組成的定量分析結(jié)果對(duì)儀器進(jìn)行綜合分析。

eds定量分析原理：用sem發(fā)射的具有一定能量的聚焦電子束轟擊樣品表面，產(chǎn)生激發(fā)元素的特征x射線。通過信號(hào)轉(zhuǎn)換、放大等一系列方法對(duì)這些特征x射線經(jīng)半導(dǎo)體探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)、處理和分析后，可得到樣品中所含各元素的特征x射線強(qiáng)度值，并可得到被測(cè)樣品化學(xué)成分的定量分析結(jié)果。通過對(duì)比相應(yīng)元素標(biāo)準(zhǔn)樣品的x射線能譜，修正計(jì)算過程。

發(fā)布時(shí)間：2010-09-26      實(shí)施時(shí)間：2011-08-01

發(fā)布部門：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

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