GBT22571-2017表面化學(xué)分析　X射線光電子能譜儀　能量標(biāo)尺的校準(zhǔn)

GB t22571-2017表面化學(xué)分析用X射線光電子能譜儀的能標(biāo)標(biāo)定

范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了通用分析用X射線光電子能譜儀的綜合能量標(biāo)度的校準(zhǔn)方法，該標(biāo)度使用 非單色Al或MGX射線或單色AlX射線。僅適用于離子槍濺射清洗的儀器。 本本標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)一步規(guī)定了建立校準(zhǔn)程序的方法，在中 之間的某一能量值下測(cè)試組合能標(biāo)度的線性度，確認(rèn)高低組合能區(qū)各點(diǎn)的標(biāo)度校準(zhǔn)不確定度，校正標(biāo)度的小漂位移，并規(guī)定了95%置信度下的綜合能量標(biāo)度校準(zhǔn)。這種不確定性包括來(lái)自實(shí)驗(yàn)室間研究中觀察到的現(xiàn)象的貢獻(xiàn)中 ，但不包括所有可能的缺陷。 本本標(biāo)準(zhǔn)不適用于以下情況的儀器：綜合能量標(biāo)度誤差與能量呈明顯的非線性變化，工作在固 定減速比模式，減速比小于10，光譜儀分辨率差小于1.5ev或要求的公差極限為±0.03ev或以下。 本本標(biāo)準(zhǔn)不提供滿標(biāo)度校準(zhǔn)檢驗(yàn)，應(yīng)按照儀器制造商推薦的程序，對(duì)能標(biāo)度上的每一點(diǎn)進(jìn)行驗(yàn)證。

發(fā)布時(shí)間：2017-09-07   實(shí)施時(shí)間：2018-01-01

發(fā)布部門：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

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