GBT 29731-2013 表面化學分析 高分辨俄歇電子能譜儀 元素和化學態(tài)分析用能量標校準

GBT 29731-2013表面化學分析用高分辨俄歇電子能譜儀元素和化學分析能量標準的校準

本標準規(guī)定了俄歇電子能譜用于表面元素和化學狀態(tài)分析的動能校準方法。它還規(guī)定了校準時間表，用于在中間某一能量值處測試動能刻度的線性，在高、低動能 區(qū)取一點，以確認刻度校準的不確定度，校正刻度的小漂移，并規(guī)定95%置信度下動能標度校準的擴展不確定度（該不確定度包括實驗室間研究中觀察到的各種現(xiàn)象，但不包括所有可能的現(xiàn)象缺陷）。 本標準僅適用于裝有濺射清洗離子槍的儀器。不適用于以下儀器：動能標度誤差隨能量呈非線性變化；當分光計在固定的Δe/e模式下的相對分辨率小于本.2%或固定的Δe為1.5ev模式時，要求公差極限為±0.05ev或以下。也不適用于電子槍不能在5kev~10kev能量范圍內(nèi)工作的儀器。 本本標準不提供滿標度校準檢驗，該檢驗應驗證能在能量標度上設置的每個點，并應按照儀器制造商推薦的程序進行。

發(fā)布時間：2013-09-18   實施時間：2014-06-01

發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

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