今天鑠思百檢測小編帶大家來了解一下，SEM掃描電鏡能譜(EDS)分析技術(shù)特點。
如果要分析材料微區(qū)成分元素種類與含量，往往有多種方法，打能譜就是我們最常用的手段。能譜具有操作簡單、分析速度快以及結(jié)果直觀等特點，最重要的是其價格相比于高大上的電鏡來說更為低廉,因此能譜也成為了目前電鏡的標(biāo)配。
能譜EDS的采樣深度大約為1 μm，可對試樣微區(qū)內(nèi)Be~U范圍內(nèi)的元素進行分析。根據(jù)掃描方式的不同可分為點掃、線掃和面掃。點掃和線掃都是對樣品的某一位置進行微區(qū)元素分析，兩者區(qū)別是掃描能譜的面積大小不一。點掃可以給出掃描元素的相對含量，測試準(zhǔn)確性較高，常用于顯微結(jié)構(gòu)的成分分析。面掃是對樣品某一區(qū)域的元素分布進行觀察。
圖1對樣品的某一位置進行能譜點掃得到的元素圖
表1樣品的相對元素含量
Element | Weight % | Atomic % | Error % |
C K | 48.96 | 54.94 | 5.15 |
N K | 27.91 | 26.85 | 19.29 |
O K | 21.35 | 17.99 | 12.55 |
AgL | 1.78 | 0.22 | 20.03 |
EDS 點分析是將電子束固定于樣品中某一點上，進行定性或者定量的分析。如圖1所示是能譜點掃給出的峰型圖，每一種元素在圖中會出現(xiàn)一種峰，由此可以看出樣品中所含有的元素，同時，也會相對應(yīng)的給出如表1所示的元素相對含量表，表中數(shù)據(jù)展示了相對質(zhì)量分?jǐn)?shù)和相對原子分?jǐn)?shù)及誤差，誤差越大表示元素的相對含量可信度越低。
圖2對樣品進行線掃的結(jié)果圖
EDS 線掃描分析是電子束沿一條線對樣品進行掃描，能得到元素含量變化的線分布曲線。結(jié)合樣品形貌像對照分析，能直觀獲得元素在不同區(qū)域的分布情況。圖2可以看出，元素含量的差異與形貌結(jié)合可以分析樣品結(jié)構(gòu)上的差異。
圖3對樣品進行面掃的結(jié)果圖
EDS 面掃描分析是電子束在樣品表面掃描，試樣表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表現(xiàn)出來，常用來做定性分析。亮度越高，元素含量越高，結(jié)合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。從圖1-11中可以看出元素分布的差異，結(jié)合形貌圖對樣品進行定性分析。
