SEM-EDS測(cè)什么的

SEM-EDS測(cè)什么的？掃描電子顯微鏡能譜儀（簡稱SEM-EDS）通過將掃描電子顯微鏡（SEM）和能譜（EDS）組合在一起，也就是說在SEM上安裝EDS附件，在觀看形貌時(shí)，選擇一定區(qū)域進(jìn)行EDS測(cè)試，就能了解該區(qū)域的元素組成。

SEM-EDS是測(cè)什么的，能解決什么問題？我們可以從以下4方面進(jìn)行分類：

1. 微觀形貌觀察及尺寸測(cè)量，如斷口顯微形貌觀察，電子產(chǎn)品內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察，表?形貌觀察，鍍層厚度測(cè)量， 錫須長度測(cè)量等；

2. 材料微觀結(jié)構(gòu)觀察，如金屬材料的晶粒及晶界分析， 鑄鐵材料石墨形態(tài)分析、鋼鐵材料的金相觀察， 納米材料分析等；

3. 區(qū)成分分析，利用電子束與物質(zhì)作用時(shí)產(chǎn)生的特征X射線，表征材料元素方面的信息，可定性、半定量Be-U的元素 ；

4. 定位測(cè)試點(diǎn)，如在失效分析中可以用來定位失效點(diǎn)， 在異物分析中可以用來定位異物點(diǎn)。

SEM-EDS已經(jīng)成為形貌分析領(lǐng)域不可或缺的一種技術(shù)手段，廣泛用于材料、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)等領(lǐng)域。

下面我們來看一些關(guān)于SEM-EDS的常見問題吧！

1、EDS分析的時(shí)候，物鏡光闌越大越好嗎?

答∶不能這么說。如果樣品是塊體，區(qū)域比較大，不存在打到其他地方。鍍層比較大，這個(gè)時(shí)候光闌大沒關(guān)系。但如果鍍層很薄，光闌大，速流就會(huì)大，涉及的范圍就會(huì)大一些。所以，對(duì)EDS測(cè)試來說，不是光闌越大越好。

2、做表面元素分析，什么時(shí)候選AES，什么時(shí)候選EDS ?

答︰通常測(cè)試表面成分的有4種設(shè)備，分別為SEM-EDS、AES、TOF-SIMS、TEM-EDS。SEM-EDS打的比較深，屬于無機(jī)物分析，樣品需要導(dǎo)電。AES也是無機(jī)物分析，樣品需要導(dǎo)電，但打的淺，樣品表面幾個(gè)納米成分的可以選。TOF-SIMS有機(jī)無機(jī)都可以測(cè)試，并且樣品導(dǎo)不導(dǎo)電都行，也是樣品表面幾個(gè)納米成分。TEM-EDS與SEM-EDS一樣，打的比較深，可制作薄片，分辨率更高。

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