SEM樣品為什么要導(dǎo)電

SEM樣品為什么要導(dǎo)電？

因為如果SEM樣品不導(dǎo)電或造成樣品表面多余電子或游離粒子的累積不能及時導(dǎo)走，一定程度后就反復(fù)出現(xiàn)充電放電現(xiàn)象，最終影響電子信號的傳遞，造成圖像扭曲，變形、晃動等現(xiàn)象。

SEM樣品為什么要導(dǎo)電？可以避免被測樣品表面形成電荷累積而影響圖像效果。對樣品進(jìn)行導(dǎo)電處理是要把多余的電荷導(dǎo)入大地，從而避免多余電荷的累積，對儀器造成損害。

武漢鑠思百檢測小編整理了一些常見的樣品表面的導(dǎo)電處理方法。

導(dǎo)電處理的一般方法：

　　1.金屬鍍膜法:

　　離子濺射鍍膜法

　　真空鍍膜法

　　2.組織導(dǎo)電法

樣品荷電效應(yīng)說明圖

（一）、金屬鍍膜法：

　　1、概念：采用特殊裝置將電阻率小的金屬(Au,Pt,Ag,Pd)離子濺射或真空蒸發(fā)后覆蓋在樣品表面的方法。

　　2、作用：

　　 (1) 消除荷電效應(yīng)，提高二次電子發(fā)射率,增加信噪比，提高圖像反差；

　　 (2) 提高樣品表面的機械強度，增強樣品耐受電子的轟擊能力；

　　 (3) 防止來自組織內(nèi)部的信息參與成像。

　　3、對金屬膜的要求

　　 (1)膜的厚度要均勻,膜要薄,20nm左右

　　 (2)膜本身無結(jié)構(gòu)，或結(jié)構(gòu)很細(xì)微

　　 (3)二次電子發(fā)射率要高

　　 (4)耐電子束的轟擊，化學(xué)穩(wěn)定性好

　　4、具體方法

　　 A 離子濺射鍍膜法

　　 (1) 離子濺射：

　　 在低真空中進(jìn)行輝光放電時，陰極物質(zhì)有飛散的現(xiàn)象。

　　 (2) 離子濺射儀的作用：

　　 離子濺射（0.01~0.1Torr）

　　 離子蝕刻（要求高真空，高電壓條件）

A. 離子濺射鍍膜法

　　 (3)離子濺射儀構(gòu)造：

　　 ① 真空部分:真空泵、真空鐘罩、真空表、進(jìn)氣閥

　　 ② 濺射部分：

　　 ﹡金屬靶：濺射時做陰極,蝕刻時做陽極（金屬: Au,Pt,Pd)

　　 ﹡樣品臺：濺射時陽極，蝕刻時陰極

　　 ﹡靶臺距離調(diào)節(jié)器：

　　 ③ 控制部分：電壓調(diào)節(jié)器、電流表、定時器，陽極陰極轉(zhuǎn)換器

　　A 離子濺射鍍膜法

　　 (4) 離子濺射儀工作原理

　　 放入樣品→抽真空→加高壓→產(chǎn)生電場→殘余氣體分子電離→正粒子轟擊金屬靶→激發(fā)金屬顆粒→金屬顆粒依附于樣品表面→金屬膜形成

　　 (5) 離子濺射鍍膜的特點

　　 ① 濺射出來的金屬顆粒小,鍍膜質(zhì)地精細(xì)

　　 ② 鍍膜薄厚均勻

　　 ③ 膜片厚度容易控制,不掩蓋樣品表面結(jié)構(gòu),節(jié)省金屬材料

　　 ④ 膜片附著力強

　　 ⑤ 受輻射熱影響較小，對樣品的損傷小。

　　 ⑥ 所需真空度低，節(jié)省時間

　　 ⑦ 金屬粒子能夠進(jìn)入到樣品表面的縫隙和凹陷處，對于表面凹凸不平的樣品也能形成很好的金屬膜

　　B 真空鍍膜法

　　 (1) 原理:高真空下,使某些金屬物質(zhì)加熱到熔點以上,真空蒸發(fā)成極細(xì)的顆粒沉積到樣 品表面,在樣表形成薄金屬膜.

　　 (2)儀器:真空噴鍍儀(10-5Torr)

　　5、離子濺射法與真空鍍膜法比較

　　(二)、組織導(dǎo)電法(導(dǎo)電染色)

　　1、定義：

　　 組織導(dǎo)電法:利用重金屬鹽溶液對生物體的蛋白質(zhì)、脂肪及淀粉等成分的結(jié)合作用，使樣品表面離子化或產(chǎn)生導(dǎo)電性能很好的金屬化合物，從而提高樣品耐受電子轟擊的能力和導(dǎo)電率。

　　2、導(dǎo)電液應(yīng)具備的條件：

　　 (1) 能對組織染色

　　 (2) 組織結(jié)構(gòu)保存完好

　　 (3) 不污染樣品

　　 (4) 不掩蓋樣品超微結(jié)構(gòu)

　　 (5) 導(dǎo)電性能好，消除荷電效應(yīng)

　　 (6) 二次電子發(fā)射率高，亮度大,圖像反差強

　　3、常用處理方法

　　 (1) 碘化鉀-碘導(dǎo)電染色法：

　　 碘化鉀20g+碘0.2g+雙蒸水100ml＋2.5%戊二醛10ml+葡萄糖0.2g

　　 (2) 碘化鉀－醋酸鉛導(dǎo)電法

　　 A液：碘化鉀 20g

　　 碘0.2g,加雙蒸水100ml

　　 B液：氫氧化鉀4g

　　 醋酸鉛1.2g 加水至100ml

　　 用時需稀釋，1分母液＋3分水

　　 (3)丹寧酸---鋨酸導(dǎo)電法:

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