掃描電鏡加速電壓

在做掃描電子顯微鏡（SEM）測(cè)試時(shí)，在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對(duì)sem測(cè)試不太了解，所以整理了相關(guān)知識(shí)，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

加速電壓是掃描電鏡技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)重要術(shù)語(yǔ)。加速電壓的范圍為0.2~30KV，一般高壓指用20KV，低壓指小于10KV 。

加速電壓的選用，取決于樣品的質(zhì)量(包括導(dǎo)電性)、圖像質(zhì)量的要求和倍率等情況。當(dāng)樣品導(dǎo)電性好時(shí)，可選用高加速電壓，這時(shí)電子束能量大，激發(fā)的二次電子、背散射電子數(shù)量就多，有利于改善圖像的分辨率、信噪比和反差，對(duì)高倍觀察有利。但加速電壓過(guò)高會(huì)產(chǎn)生不利因素，我們一般選擇20kV的加速電壓。當(dāng)樣品導(dǎo)電性差時(shí)，又不便噴碳、噴金，還要盡可能將樣品原來(lái)的面貌保存下來(lái)，取得高質(zhì)量的掃描照片。而這類樣品容易產(chǎn)生充、放電效應(yīng)，樣品充電區(qū)的微小電位差會(huì)造成電子束散開(kāi)，使束斑擴(kuò)大，從而損害分辨率。鄰近點(diǎn)的負(fù)電場(chǎng)又會(huì)使二次電子的軌跡產(chǎn)生偏離，從而降低清晰度。同時(shí)，表面負(fù)電場(chǎng)對(duì)入射電子產(chǎn)生排斥作用，改變了電子的入射角，從而使圖像不穩(wěn)定，產(chǎn)生移動(dòng)、錯(cuò)位，甚至使表面細(xì)節(jié)根本無(wú)法呈現(xiàn)，加速電壓越高這種現(xiàn)象越嚴(yán)重，此時(shí)選用低加速電壓(<10kV)，減少充、放電現(xiàn)象，提高分辨率。

加速電壓選擇

普通掃描電鏡加速電壓一般為0.5—30kv(通常用10－20 kV左右)。應(yīng)根據(jù)樣品的性質(zhì)、圖像要求和觀察倍率等來(lái)選擇加速電壓。

對(duì)于：

1.金相試樣、斷口試樣等盡可能用高的加速電壓。

2.如果觀察的樣品是凹凸的表面或深孔，為了減小入射電子探針的貫穿和散射體積，采用較低的加速電壓可改善 圖像的清晰度。

3.對(duì)于容易發(fā)生充電的非導(dǎo)體試樣或容易燒傷的生物試樣，也應(yīng)該采用低的加速電壓。

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