白光干涉儀能測(cè)什么？|鑠思百檢測(cè)

白光干涉儀能測(cè)什么？經(jīng)常有同學(xué)問(wèn)白光干涉儀能測(cè)什么？今天鑠思百檢測(cè)小編整理了相關(guān)資料，希望能幫到大家。

白光干涉儀介紹

白光干涉儀是高性價(jià)比非接觸式表面輪廓儀，能準(zhǔn)確度定性和定量地反映出樣品的表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸以及樣品的形貌。測(cè)量過(guò)程精密，高速，非接觸，且樣品無(wú)需特殊處理。在高速掃描狀態(tài)下縱向測(cè)量范圍可以從小于1nm至20000μm，

白光干涉儀原理

白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。

白光干涉儀能測(cè)什么

1、超精細(xì)粗糙度測(cè)量

（例1）玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測(cè)量

2、臺(tái)階高度

（例2）掩模版臺(tái)階高度測(cè)量

3、形貌觀察和測(cè)量

（例3-1）菲涅爾膜形貌測(cè)量

（例3-2）金屬表面研磨后形貌觀察&測(cè)量

4、不同條件下實(shí)驗(yàn)形貌比對(duì)和測(cè)量

（例4）化工材料不同濃度液滴后形貌分析