3D輪廓儀如何測粗糙度

粗糙度是衡量表面形態(tài)不規(guī)則度的指標(biāo)，也是描述表面特征的重要參數(shù)。一般使用光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等儀器來進行傳統(tǒng)的測量方法，然而這些方法容易受到環(huán)境影響，例如灰塵、溫度等因素可能降低測量精度，而且還需要樣品制備，不夠方便快捷。

輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器，根據(jù)工作原理的不同，可分為接觸式輪廓儀（使用觸針）和光學(xué)3D表面輪廓儀（使用白光干涉儀）。那么輪廓儀測量粗糙度的原理是什么？知道了原理的同時，我們就知道了3D輪廓儀是如何測粗糙度的。接下來我們看看3D輪廓儀的測粗糙度的原理吧。

二、光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)測粗糙度原理

3D表面輪廓儀(白光干涉儀)是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。