XPS測(cè)試數(shù)據(jù)處理步驟

XPS即X射線光電子能譜， 可以分析除了H，He以外的所有元素。測(cè)定精確到 0.1at%, 分辨率為 100 um, 分析深度在 1-3 nm 左右。今天鑠思百檢測(cè)小編教大家XPS分析步驟。

認(rèn)識(shí)xps分析軟件avantage

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　　軟件中文界面，簡(jiǎn)單易懂

　　(1)全譜數(shù)據(jù)分析

　　直接將全譜文件拖入軟件內(nèi)，或者打開“文件”，“導(dǎo)入”，全譜文件一般為命名為“survey”

　　點(diǎn)擊工具欄上的第一個(gè)“全譜識(shí)別”，軟件會(huì)自動(dòng)識(shí)別各個(gè)元素的峰，并且根據(jù)積分面積計(jì)算每個(gè)元素的原子比，有些元素含量很小的時(shí)候，軟件會(huì)在后面打問號(hào)。

　　(2)具體元素?cái)?shù)據(jù)分析

　　直接將單個(gè)元素的xps文件拖進(jìn)來，可以看到此時(shí)只有原始數(shù)據(jù)。

　　這個(gè)時(shí)候點(diǎn)擊工具欄的第四個(gè)“峰擬合”，彈出“峰擬合”的操作界面。

　　然后根據(jù)軟件提示添加單個(gè)峰，此時(shí)也可以手動(dòng)在應(yīng)該出峰的位置手動(dòng)添加。也可以手動(dòng)微調(diào)軟件自動(dòng)添加的峰。添加完成后不要急著點(diǎn)確定。

　　(3)數(shù)據(jù)導(dǎo)出

　　峰擬合結(jié)束后如何將數(shù)據(jù)導(dǎo)出?此時(shí)點(diǎn)擊“報(bào)告”按鈕，然后點(diǎn)擊如圖的excel圖標(biāo)，將數(shù)據(jù)文件保存。

　　這個(gè)時(shí)候會(huì)自動(dòng)彈出excel表格，將里面的數(shù)據(jù)復(fù)制到origin里面作圖即可。

　　這個(gè)時(shí)候xps的分析到作圖就完成啦。

　　(4)答疑環(huán)節(jié)

　　問：所得的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)特別不好，鋸齒特別多該怎么辦?

　　答：含量低時(shí)通常會(huì)這樣，這個(gè)時(shí)候建議將數(shù)據(jù)進(jìn)行平滑，方法為點(diǎn)擊“修飾”，“平滑圖譜”，然后點(diǎn)第三個(gè)“傅里葉變換”，效果較好。

　　問：為什么點(diǎn)那個(gè)導(dǎo)出時(shí)候數(shù)據(jù)出不來，出現(xiàn)的還是以前的數(shù)據(jù)?

　　答：這可能與excel里面的數(shù)據(jù)過多有關(guān)，可以重新新建一個(gè)保存路徑，再導(dǎo)出就可以了。